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　　表面阻抗測試儀就是用來測試系統阻抗特性的儀器，通過阻抗測試儀可以分析系統的L、C、R分量。例如一個普通電阻不僅具有電阻分量，其還具有電感或者電容分量，通過阻抗測試儀可以對其進行測量。由于組抗測試儀設計使用方便，以來被廣泛適用于微電子，醫藥，航空航天，精密機械等領域，用于量化測量所有導電型、抗靜電及靜電泄放材料的表面電阻或系統電阻，使用簡單，攜帶方便。

　　表面阻抗測試儀設計對于電路和裝置的模值、精度等都有影響，而且在裝置運行中，阻抗參數的變化對裝置的結構、運行狀態、溫度變化、故障原因等有重要的參考價值和研究意義。該技術是一種非接觸式面阻測試技術且測試穩定，對于無損檢測、在線監測具有重要意義。

　　測試原理：

　　當四根金屬探針排成一條直線,并以一定壓力壓在半導體材料上時，在1,4兩根探針間通過電流I,則2,3探針間產生電位差V，根據公式可計算出材料的電阻率。其中，C為四探針的探針系數(cm)，它的大小取決于四根探針的排列方法和針距。